微继电器

作品数:17被引量:13H指数:2
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相关机构:上海交通大学北京工业大学松下电工株式会社合肥工业大学更多>>
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一种新型MEMS电磁继电器的研究被引量:1
《电子器件》2008年第5期1533-1536,共4页刘亮 赵小林 戴旭涵 鲁李乐 丁桂甫 
国家自然科学基金项目资助(50405013);国家863计划项目资助(2006AA04Z360);上海市科委重点实验室基金项目资助(05dz22309);微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C790301060C79)
介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚...
关键词:微机电系统(MEMS) 电磁驱动 微继电器 微电铸 
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