微麦克风

作品数：14被引量：17H指数：2
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相关机构：清华大学歌尔声学股份有限公司桂林电子科技大学东华大学更多>>
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新型集成微麦克风和扬声器的结构设计被引量：1
《半导体技术》2000年第5期7-9,共3页任天令 张林涛 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金!69806007;清华大学基础研究基金
在现有的硅基Pb（Zr，Ti）O3（PZT）铁电薄膜的制备工艺基础上，提出了一种以PZT悬臂式振膜为核心的集成微麦克风和扬声器结构，对其进行了优化设计。对微麦克风和扬声器的灵敏度和声输出进行了理论计算。并比较了基于PZT和ZnO两种材料...
关键词：微麦克风 微扬声器 铁电薄膜 结构设计 集成电路 
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