张林涛

作品数：13被引量：19H指数：3
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发文主题：铁电薄膜微麦克风PZT铁电扬声器更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《中国集成电路》《功能材料》《半导体技术》更多>>
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MEMS的研究与应用
《中国集成电路》2003年第53期22-25,共4页杨轶 张宁欣 张林涛 陈兢 任天令 刘理天 
本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础,并结合 MEMS 的发展史和制造技术,对MEMS 的应用领域作了重点阐述,最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。
关键词：MEMS 微电子机械系统 传感器 制造技术 LIGA技术 微机械加工 
压电微传声器的有限元分析被引量：1
《仪器仪表学报》2003年第z2期194-195,共2页杨轶 张林涛 任天令 刘理天 
国家"863"(2002AA404500)资助;"973"(G1999033105)资助
利用ANSYS软件建立了压电微传声器的有限元模型,对器件进行了结构静力分析、模态分析、谐波分析,计算模拟出微传声器的本征频率。通过模拟和分析,对压电传声器的设计参数进行了优化。对比表明,有限元分析的结果与解析方法以及实验结果...
关键词：压电传声器 有限元分析 ANSYS 
硅基铁电薄膜的电性能研究被引量：2
《固体电子学研究与进展》2001年第4期472-476,共5页任天令 张林涛 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金资助项目 (6 980 6 0 0 7);国家 973项目 (G19990 3310 5 )
以 Sol- Gel方法制备了有 Pb Ti O3 (PT)过渡层的硅基 Pb(Zr0 .53 Ti0 .47) O3 (PZT)铁电薄膜 ,底电极分别为低阻硅和硅衬底上溅射的金属钛铂。测试了铁电薄膜的电性能 。
关键词：硅基铁电薄膜 钛锆酸铅 钛酸铅 溶胶-凝胶法 
Sol-Gel法硅基PZT铁电薄膜研究
《功能材料》2001年第3期252-253,共2页张林涛 任天令 张武全 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金资助项目(69806007)
介绍了以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁酯为原料用溶胶－凝胶（ｓｏｌ－ｇｅｌ）方法在硅衬底上制备Ｐｂ（Ｚｒ０．５３Ｔｉ０．４７）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的工艺流程。对铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质进行了分析，结果...
关键词：SOL-GEL法 PZT 铁电薄膜 
硅基PZT铁电薄膜的制备与性能研究被引量：4
《半导体技术》2001年第1期49-52,共4页张林涛 任天令 张武全 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金(69806007)
用溶胶－凝胶（Ｓｏｌ－Ｇｅｌ）方法制备了硅基Ｐｂ（Ｚｒ＿０．５３Ｔｉ＿０．４７）０＿３（ＰＺＴ铁电薄膜。分析了ＰＺＴ铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质。基于上述分析结果提出并实现了低温退火处理制备有ＰＴ过渡...
关键词：SOL-GEL法 PZT PT 铁电薄膜 
一种新型硅基PT/PZT/PT夹心结构的电性能研究被引量：5
《压电与声光》2000年第6期407-409,共3页任天令 张林涛 张武全 李春晓 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金资助项目!(6 980 6 0 0 7)
以无机锆盐为原料 ,用溶胶 -凝胶 (Sol- Gel)法成功地在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si衬底上制备出一种新型Pb Ti O3/ Pb(Zr0 .5 3Ti0 .47) O3/ Pb Ti O3(PT/ PZT/ PT)夹心结构。这种新结构对于 PZT的晶化有很好的促进作用 ,其最终的退火温度为 7...
关键词：PZT PT 夹心结构 溶胶-凝胶法 硅基 电性能 铁电 
Sol-Gel法硅基铁电薄膜研究被引量：1
《真空科学与技术》2000年第6期394-396,共3页张林涛 任天令 张武全 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金!资助项目 (6 980 6 0 0 7)
介绍了用溶胶 凝胶方法制备Pb(Zr0 .53Ti0 .4 7)O3(PZT)铁电薄膜的工艺流程。以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁酯为原料 ,在 90 0℃ ,30min退火条件下制备了硅基PZT铁电薄膜。实验分析结果显示 ,PZT铁电薄膜的晶化很完善。研究了PZT铁电薄...
关键词：溶胶-凝胶法 锆钛酸铅 硅基铁电薄膜 制备工艺 
硅基PZT铁电薄膜的界面和表面研究被引量：3
《压电与声光》2000年第5期316-318,共3页张林涛 任天令 刘理天 李志坚 张琪 朱静 
国家自然科学基金资助项目! (6 980 6 0 0 7)
用高分辨透射电镜等手段研究了溶胶 -凝胶 (Sol- Gel)工艺制备的硅基 Pb(Zr,Ti) O3 (PZT)铁电薄膜 ,发现在 PZT的上表面生成了 Si O2 ,PZT与硅衬底的界面处形成了无定型的 Si Ox 层并有铅的沉积 ,而且热处理温度越高 ,这种现象越显著。...
关键词：高分辨透射电镜 溶胶-凝胶 PZT 铁电薄膜 硅基 
一种新型集成微麦克风和扬声器的设计被引量：1
《电子器件》2000年第4期233-237,共5页任天令 张林涛 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金!( 6980 60 0 7)
:基于现有的硅基 Pb(Zr,Ti) O3 (PZT)铁电薄膜的制备工艺 ,提出了一种用于微麦克风和扬声器的新型 PZT悬臂式振膜结构。对这种悬臂结构的结构参数进行了优化设计 ,并对其灵敏度和声输出进行了理论分析。结果表明采用这种 PZT悬臂式结构...
关键词：集成微麦克风 微扬声器 铁电薄膜 设计 
铁电-硅集成微麦克风和扬声器的理论设计
《压电与声光》2000年第4期234-236,共3页任天令 张林涛 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金资助项目!(69806007)
在现有 Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的制备工艺基础上，提出并设计了可集成在同一芯片上的基于ＰＺＴ铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构，对其灵敏度和声输出进行了理论计算。比较了基于 ＰＺＴ和 ＺｎＯ两种材料的...
关键词：微麦克风 微扬声器 铁电薄膜 硅 设计 
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