MEMS的研究与应用  

作　　者：杨轶[1] 张宁欣[1] 张林涛[1] 陈兢[1] 任天令[1] 刘理天[1] 

机构地区：[1]清华大学微电子所

出　　处：《中国集成电路》2003年第53期22-25,共4页China lntegrated Circuit

摘　　要：本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础,并结合 MEMS 的发展史和制造技术,对MEMS 的应用领域作了重点阐述,最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。

关 键 词：MEMS 微电子机械系统 传感器 制造技术 LIGA技术 微机械加工 

分 类 号：TP211.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]