张宁欣

作品数：8被引量：8H指数：2
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发文主题：铁电薄膜MEMS压电薄膜锆钛酸铅PZT铁电薄膜更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《仪器仪表学报》《压电与声光》《山东陶瓷》《中国机械工程》更多>>
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硅基铁电微声学器件中薄膜残余应力的研究被引量：1
《中国机械工程》2005年第14期1289-1291,共3页杨轶 张宁欣 任天令 刘理天 
采用基底曲率法测量了硅基铁电微声学器件中各层薄膜的残余应力情况,通过调节热氧化的二氧化硅层的厚度,优化了微声学器件中复合膜的残余应力,得到平整的振膜结构,提高了器件的可靠性和成品率。
关键词：残余应力 基底曲率法 微声学器件 铁电 
MEMS的研究与应用
《中国集成电路》2003年第53期22-25,共4页杨轶 张宁欣 张林涛 陈兢 任天令 刘理天 
本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础,并结合 MEMS 的发展史和制造技术,对MEMS 的应用领域作了重点阐述,最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。
关键词：MEMS 微电子机械系统 传感器 制造技术 LIGA技术 微机械加工 
基于MEMS技术的集成铁电硅微麦克风被引量：2
《中国集成电路》2003年第53期59-61,共3页伍晓明 杨轶 张宁欣 蔡坚 任天令 刘理天 
本文介绍了基于 MEMS 技术的集成铁电式硅微麦克风的滑在应用、制备工艺、封装技术、测试方法。实验研究表明。这种与 IC 工艺相兼容的 MEMS 微麦克风工艺相对简单,性能易于控制,灵敏度可以达到15mV/Pa 以上,有很大的发展前途。
关键词：MEMS 集成铁电硅微麦克风 制备工艺 封装技术 测试方法 
退火制度对PZT铁电薄膜性能的影响被引量：1
《仪器仪表学报》2003年第z2期309-310,共2页张宁欣 侯生根 任天令 刘理天 
国家"863"(2002AA404500)资助项目;"973"(G1999033105)资助项目
铁电薄膜的性质对于硅基MEMS器件有重要的影响,鉴于此本文尝试通过改善退火工艺以提高PZT薄膜的铁电和压电性质。采用溶胶凝胶法,在Si/SiO_2/Ti/Pt衬底上制备了PZT铁电薄膜。实验中,采用一次退火工艺和每层退火工艺制备了两种PZT薄膜,采...
关键词：退火制度PZT 溶胶凝胶 漏导电流 
集成铁电器件中的关键工艺研究被引量：3
《仪器仪表学报》2003年第z2期192-193,共2页杨轶 张宁欣 任天令 刘理天 
国家"863"(2002AA404500)资助;"973"(G1999033105)资助
对集成铁电器件中的关键工艺进行了研究,采用改进的溶胶—凝胶(Sol-Gel)法制备了高品质、(110)择优取向的锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜,成功的利用离子束刻蚀(IBE)、反应离子刻蚀(RIE)和湿法腐蚀方法对PZT薄膜进行了刻蚀加工,采用正胶剥离和...
关键词：铁电薄膜 锆钛酸铅 溶胶-凝胶 刻 蚀 剥 离 
ZrO2复合对PLZT铁电陶瓷电致疲劳性能的改善
《材料导报》2000年第Z10期197-198,共2页张宁欣 李龙土 
研究了复合ＺｒＯ２对ＰＬＺＴ铁电陶瓷性能的影响，随着ＺｒＯ２的添加，复合材料体系的铁电性能有一定的减弱，但是电致疲劳性能却得到明显的改善。断口的显微结构观察表明，随着ＺｒＯ３的添加，断口由部分沿晶断裂模式向穿晶断裂模...
关键词：铁电疲劳 二氧化锆 复合 PLZT铁电陶瓷 电致疲劳性能 
铁电存储器及其疲劳机制的研究
《山东陶瓷》1999年第2期9-13,共5页张宁欣 桂治轮 李龙土 
国家"863"计划重点课题
简述了铁电材料的结构及其性能，比较了铁电存储器的各种制备工艺的优缺点及发展前景；同时介绍了目前较为先进的铁电储存器的优良的读、写等特性及国际市场发展动态对当今高度发展的信息社会的重要作用。同时探讨了铁电材料的疲劳机制...
关键词：铁电材料 铁电存储器 疲劳 存储器 
激光光纤测振仪测量多层压电变压器的振动被引量：1
《压电与声光》1999年第2期153-157,共5页白辰阳 张宁欣 桂治轮 李龙土 傅承诵 
多层压电变压器具有体积小，质量轻，效率高等特点，具有许多重要的应用领域。本文首次采用目前国内外最先进的激光光纤测振仪测量了多层压电变压器的谐振特性和振动位移情况，为多层压电变压器的设计和研究提供了一种非常有效的测试技术。
关键词：激光光纤测振仪 多层压电变压器 振动 
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