尾气处理系统

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EDWARDS将在2014SEMICON^R CHINA展会上展示世界领先的真空设备和尾气处理系统
《半导体技术》2014年第4期315-315,共1页
2014年3月18日，全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司在上海举办的SEMICON^R China展会上展示一系列高性能真空泵，包括最近推出的STP—iXA4506大容量（1arge—capacity）涡轮分子泵（turbomolecu-l...
关键词：尾气处理系统 真空设备 展会 世界 SEMICON 半导体集成电路 设备制造商 服务供应商 
Edwards成为450mm晶圆制造设备联盟（F450C）的创始成员
《半导体技术》2013年第8期640-640,共1页
2013年7月9日，精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及相关增值服务全球供应商Edwards集团有限公司最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成，旨在组建450mm晶圆制造设备联盟（F450C）的工作组。这是全球450联盟（G450C）的一个...
关键词：晶圆制造 制造设备 联盟 半导体设备 尾气处理系统 基础设施 增值服务 供应商 
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