位置检测器

作品数：48被引量：69H指数：5
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BG-105型分步投影光刻机调平控制系统分析与软件处理被引量：1
《电子工业专用设备》2002年第1期32-37,共6页葛宁 
概述了调平控制系统在BG - 10 5型分步投影光刻机中的重要性和BG - 10 5型分步投影光刻机调平控制系统的工作原理。重点讨论了该控制系统的软件计算处理方法。实测表明 ,该软件控制系统运行情况良好 ,具有很强的实用性。
关键词：调平控制系统 位置检测器 计算方法 软件编程 
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