葛宁

作品数：1被引量：1H指数：1
导出分析报告
供职机构：中华人民共和国工业和信息化部更多>>
发文主题：BG计算方法位置检测器软件编程更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
BG-105型分步投影光刻机调平控制系统分析与软件处理被引量：1
《电子工业专用设备》2002年第1期32-37,共6页葛宁 
概述了调平控制系统在BG - 10 5型分步投影光刻机中的重要性和BG - 10 5型分步投影光刻机调平控制系统的工作原理。重点讨论了该控制系统的软件计算处理方法。实测表明 ,该软件控制系统运行情况良好 ,具有很强的实用性。
关键词：调平控制系统 位置检测器 计算方法 软件编程 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部