相移干涉轮廓仪

作品数：1被引量：6H指数：1
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检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪被引量：6
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2005年第5期377-380,共4页张红霞 张以谟 井文才 周革 李岩 
国家自然科学基金资助项目(60377031);973计划资助项目(2003CB314907)
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成....
关键词：Mirau干涉 相移干涉轮廓仪 Mirau干涉物镜 光纤连接器 压电陶瓷传感器 
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