谐振传感器

作品数：47被引量：102H指数：6
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微谐振型光纤传感器研究被引量：2
《测试技术学报》1998年第2期8-12,共5页高金山 王家桢 
本文研究了一种由光束激励并检测的微谐振型光纤传感器，说明了利用单昌硅制作 微型硅谐振器的制作 方法。在实验的基础上分析了谐振器在光激励下的振动机理，给出了测量压力参数的原理。
关键词：光纤传感器 硅微结构 谐振传感器 微谐振型 
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