谐振传感器

作品数：47被引量：102H指数：6
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硅微传感器的热挠曲及谐振频率的计算
《半导体光电》2000年第2期132-134,共3页刘月明 刘君华 张少君 
国家自然科学基金资助项目! (6 9776 0 37);陕西省自然科学研究资助项目!(97C12 )
分析了硅微机械谐振式传感器在热激励下的挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计。同时通过算例和测试数据的对比 ,验证了谐振频率计算模型的正确性。
关键词：硅微机谐振传感器 热挠曲 谐振频率 
光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展被引量：4
《半导体光电》1999年第1期7-10,共4页吴浩扬 李炳乾 朱长纯 刘君华 
国家自然科学基金
从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展，并就该领域未来的发展作了展望。
关键词：硅微机械 谐振传感器 光激励 光拾取 
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