谐振梁

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十字型微谐振梁多场耦合非线性振动分析
《振动与冲击》2023年第1期308-317,共10页韩光 许立忠 
河北省重点基础研究项目(13961701D)。
为了提高电容检测传感器的检测精度,提出了一种十字型微谐振梁。将其简化为多场耦合振动模型,在考虑分子力与电场力的情况下建立动力学方程。求得其非线性振动固有频率及其变化规律,分析了不同参数对位移响应的影响。利用微加工技术制...
关键词：微机电系统(MEMS) 非线性振动 分子力 多场耦合 十字型谐振梁 
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