芯片凸点

作品数:10被引量:21H指数:2
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相关机构:天水华天科技股份有限公司清华大学北京大学华进半导体封装先导技术研发中心有限公司更多>>
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基于白光三角法的凸点封装高度测量仿真研究被引量:2
《光学与光电技术》2022年第1期43-49,共7页叶瑞乾 郑鹏 王磊 张滋黎 孟繁昌 
国家重点研发计划(2019YFB2006700)资助项目。
随着集成电路制造技术的发展,封装尺寸变得更加细密,焊料变形导致的互连短路问题日益突出,针对芯片凸点进行共面性缺陷检测即测量凸点高度的需求更加迫切。为实现这一目的,建立了基于白光三角法的芯片凸点高度测量仿真模型,系统分为光...
关键词:白光三角法 芯片凸点 高度测量 仿真 
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