离子辅助沉积

作品数:103被引量:348H指数:12
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相关领域:理学电子电信更多>>
相关作者:付秀华于天燕刘定权张静蒋林更多>>
相关机构:长春理工大学中国科学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所浙江大学更多>>
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红外探测器滤光膜的研究与制备被引量:3
《红外与激光工程》2012年第1期129-132,共4页孙岩 付秀华 石澎 姚林 
吉林省科技发展计划项目(20080331-1)
为满足红外探测器在1.064μm和3~5μm双波段透射,在1.2~2.8μm波段反射,可适应复杂的环境条件、具有高稳定性和可靠性等要求,依据薄膜的设计理论,选择合理的膜系设计方法,借助TFC膜系设计软件对膜系结构进行优化设计。并采用电子束真...
关键词:光学薄膜 多波段滤光膜 红外增透膜 离子辅助沉积 
双波段激光防护红外减反膜的研制被引量:15
《中国激光》2011年第4期182-186,共5页石澎 付秀华 孙岩 魏孜洵 梅禹珊 
吉林省科技发展计划(20086012)资助课题
针对军用光电仪器对激光致盲武器的防护要求,选取Si和YbF3,ZnS和YbF3两种高低折射率组合形式研制了激光防护减反膜。在多光谱ZnS基底上,采用电子束及离子辅助沉积技术,制备了能够对532 nm和1064 nm激光进行有效防护,同时对3~5μm的波段...
关键词:薄膜 激光防护 离子辅助沉积 红外减反膜 
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