离子密度

作品数：64被引量：119H指数：5
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磁场闭合度对等离子体空间分布状态及CrN_x镀层沉积效率的影响被引量：2
《材料热处理学报》2011年第1期92-96,共5页蒋百灵 曹政 鲁媛媛 栾亚 
国家高技术研究发展计划(863计划);闭合场非平衡磁控溅射离子镀镀膜装备研制和技术开发(2005AA33H010)
采用Langmuir探针测定了不同磁场闭合状态下辉光放电环境中的电子温度(Te)、电子密度(ne)及离子密度(ni)空间分布状态,探讨了磁场闭合度对CrNx镀层沉积效率的影响机理。结果表明:三种磁场闭合状态下,电子温度都在靶面处最高,相邻靶间对...
关键词：磁场闭合状态 电子温度 电子密度 离子密度 CrNx镀层 
电除尘器烟道中的高密度离子产生技术被引量：2
《高电压技术》2010年第2期450-455,共6页陈志刚 王少雷 白敏菂 王永伟 冷宏 
国家自然科学基金(50778028;60471036;60801010);国家高技术研究发展计划(863计划)(2008AA06Z317)~~
目前电除尘器存在着微小颗粒粉尘捕集效率低、本体体积庞大和能耗高等问题。为了解决这一问题,基于烟道中粒子动量高、放电通道中离子输运特性有很大提高的特点,将离子源、荷电凝并装置设置于电除尘器前烟道中。实验结果表明气体粒子动...
关键词：微细粉尘 烟道 粒子动量 荷电凝并 离子密度 离子源 
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