离子束加工

作品数：61被引量：193H指数：9
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相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
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相关机构：国防科学技术大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院中国兵器科学研究院更多>>
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用于纳米级加工的特种加工技术被引量：2
《仪器仪表学报》1995年第S1期42-46,共5页赵家齐 郭永丰 刘永红 赵万生 
博士点导师基金
概要地论述了多种可用于纳米级微细加工的特种加工技术，诸如电子束加工、离子束加工、激光束加工、隧道式近场放电加工、微细电火花加工、微细电铸加工和复合加工等。论述了这些特种加工技术的基本原理和主要应用范围。
关键词：特种加工技术 纳米级 微细电火花加工 电解加工 电铸加工 微细加工 电子束加工 离子束加工 激光束加工 表面热处理 
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