立体光刻

作品数：86被引量：332H指数：8
导出分析报告
相关领域：化学工程机械工程更多>>
相关作者：黄笔武王功刘兵山薛亚辉唐昆更多>>
相关机构：DWS有限公司南昌大学中国科学院清华大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划陕西省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=光学精密工程x
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于数字微镜器件的无掩膜光刻技术进展被引量：3
《光学精密工程》2022年第1期12-30,共19页张思琪 周思翰 杨卓俊 许智 兰长勇 李春 
国家自然科学基金资助项目(No.61475030,No.61975024)。
基于空间光调制器的无掩膜光刻是光刻技术重要发展方向之一。近年来,随着数字微镜器件芯片集成度与性能的提高,数字微镜器件无掩膜光刻成为一种主要的数字光刻技术。由于可灰度调制的光反射式“数字掩膜”替代了传统光刻中使用的预制物...
关键词：无掩膜光刻 空间光调制器 数字微镜器件 分辨率增强 灰度光刻 微立体光刻 
IH工艺在微机械中的应用被引量：3
《光学精密工程》1994年第6期18-23,共6页崔天宏 王立鼎 吕琼莹 汪洪涛 
介绍了微机械加工中的一项崭新技术——ＩＨ工艺，即集成聚合物固化立体光刻。这一技术是具有大纵横比的真三维立体加工工艺，而且可以加工聚合物和金属等多种材料。最后作者把ＩＨ工艺同ＬＩＧＡ工艺等传统工艺方法加以类比，提出了Ｉ...
关键词：IH工艺 立体光刻 微型机械 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部