云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 卢瑟福背散射

卢瑟福背散射: 作品数：59被引量：66H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：孟祥艳王雪蓉刘运传刘向东周燕萍更多>>; 相关机构：北京大学中国科学院复旦大学四川大学更多>>; 相关期刊：《微细加工技术》《南华大学学报（自然科学版）》《原子核物理评论》《功能材料》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国防基础科研计划国家重点基础研究发展计划更多>>

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MOCVD制备的氮化铪薄膜结构特性研究被引量：2: 《核技术》2010年第11期836-838,共3页陈长春刘江锋余本海王林; 河南省科技计划基金(082300410050)资助; 以热氧化的p型硅(SiO2/Si)为衬底,运用金属有机化学气相淀积(MOCVD)技术以铪基金属有机源和高纯氨为反应气体在其上淀积HfNx薄膜样品。薄膜结构信息用RBS技术、XRD技术及X射线反射率(XRR)计等来表征。实验结果表明,HfNx薄膜中N与Hf原子...; 关键词：金属有机化学气相沉积氮化铪薄膜卢瑟福背散射 X射线衍射技术

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