脉冲偏压电弧离子镀

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相关领域:金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者:林国强董闯闻立时张敏赵彦辉更多>>
相关机构:大连理工大学中国科学院金属研究所中航工业北京航空制造工程研究所辽宁师范大学更多>>
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脉冲偏压电弧离子镀Zr-Me-N(Me=Cr,Al,Cu)薄膜性能研究(英文)
《稀有金属材料与工程》2013年第S2期83-86,共4页张林 林国强 马国佳 魏科科 段仲伟 
National Nature Science Foundation of China(50824001)
利用脉冲偏压电弧离子镀在高速钢和Si基体上沉积锆基三元氮化物薄膜Zr-Me-N(Me=Al,Cr,Cu)。采用EPMA、XRD、SEM、接触角、纳米压痕、划痕仪以及摩擦磨损试验机分别研究薄膜的组分、结构、润湿性、力学性能和摩擦学性能。研究表明:Zr-Cr-...
关键词:电弧离子镀 三元氮化物 力学性能 摩擦系数 
铜含量对脉冲偏压电弧离子镀Zr-Cu-N薄膜结构与性能的影响(英文)
《稀有金属材料与工程》2013年第S2期87-90,共4页张林 林国强 马国佳 魏科科 
National Nature Science Foundation of China(50824001)
利用脉冲偏压电弧离子镀设备调控分离靶弧流,在高速钢和Si基体上沉积了不同铜含量的Zr-Cu-N薄膜。采用EPMA、XRD、纳米压痕以及摩擦磨损试验机研究铜含量对薄膜的组分、结构、力学性能和摩擦学性能。研究表明:Zr-Cu-N薄膜结构主要依赖...
关键词:Zr-Cu-N薄膜 结构 力学性能 电弧离子镀 
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