纳米测量机

作品数：27被引量：123H指数：6
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相关作者：胡小唐李源傅星郭彤陈津平更多>>
相关机构：天津大学上海市计量测试技术研究院合肥工业大学中航工业北京长城计量测试技术研究所更多>>
相关期刊：《上海计量测试》《工业计量》《自动化仪表》《组合机床与自动化加工技术》更多>>
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激光干涉仪在纳米测量中的典型应用被引量：2
《计测技术》2023年第1期91-101,共11页李强 任冬梅 朱振宇 李华丰 王霁 段小艳 
国家“十三五”技术基础科研项目(JSJL2016205C003)。
激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这...
关键词：纳米测量 激光干涉仪 位移测量 纳米测量机 线膨胀系数 
纳米校准与测试——基于纳米测量机的试验性研究被引量：2
《计测技术》2008年第2期1-5,15,共6页陈晓梅 万宇 朱振宇 
航空科学基金资助项目(2006ZD44001)
主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究,包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研...
关键词：纳米测量机 沟槽深度标准样板 台阶高度标准样板 非球面坐标测量 
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