纳米测量机

作品数：27被引量：123H指数：6
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一种应用于纳米测量机的高精度干涉仪被引量：3
《微纳电子技术》2011年第7期464-468,共5页王霁 朱振宇 李华丰 
国家"十一五"重点项目(KBA50201510)
为实现纳米三坐标测量机(NMM)中大范围高精度位移的测量(测量范围小于40mm,分辨率小于0.1nm),研制了一种大量程纳米级测量精度的实用化外差干涉仪,并对该干涉仪的光学结构进行分析研究。该系统不但克服了双频激光干涉仪混频的固有缺点,...
关键词：纳米测量 光外差干涉仪 光程差(OPD) 等光程 相位差 
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