纳米多层薄膜

作品数:20被引量:84H指数:6
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相关领域:一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者:王立平薛群基曹保胜李戈扬王浪平更多>>
相关机构:大连理工大学中国科学院河北大学上海交通大学更多>>
相关期刊:《上海交通大学学报》《有色金属材料与工程》《湘潭大学学报(自然科学版)》《摩擦学学报(中英文)》更多>>
相关基金:国家自然科学基金浙江省自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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PIIID技术制备Ti/DLC纳米多层薄膜被引量:3
《核技术》2009年第3期233-236,共4页解志文 王浪平 王小峰 闫久春 黄磊 陆洋 
国家自然科学基金(50601010;10875033)资助
采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在2Cr13钢表面制备了Ti/DLC纳米多层薄膜,分析了膜层的微观结构和机械特性。实验结果表明:纳米多层膜具有完整、清晰的调制层结构,薄膜的显微硬度均得到明显的提高,硬度较低的膜层具有较好...
关键词:等离子体浸没离子注入与沉积 结合强度 纳米多层薄膜 
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