纳米多层薄膜

作品数：20被引量：84H指数：6
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相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者：王立平薛群基曹保胜李戈扬王浪平更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院河北大学上海交通大学更多>>
相关期刊：《上海交通大学学报》《有色金属材料与工程》《湘潭大学学报（自然科学版）》《摩擦学学报（中英文）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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湿度对a-C:Ti/a-C:Si纳米多层薄膜摩擦学行为的影响
《表面技术》2024年第21期34-43,共10页赵春梅 牛心悦 徐正田 王少峰 施志军 邢晓磊 周野飞 
国家自然科学基金(52205205、52375208);河北省自然科学基金(E2024203093、E2024203056、E2024203127、E2020203022);河北省省级科技计划资助(236Z1809G);航空科学基金(201945099002);特种表面保护材料及应用技术国家重点实验室开放基金项目(CBGZJJ2023-2-04)。
目的沉积出具有纳米级多层结构的a-C:Ti/a-C:Si薄膜来改善非晶碳薄膜的湿度适应性。方法通过磁控溅射技术在硅片和304不锈钢试样表面交替沉积a-C:Ti薄膜和a-C:Si薄膜,并进行了薄膜截面形貌表征。通过纳米压痕测试表征了复合薄膜的力学性...
关键词：多层结构 a-C:Ti/a-C:Si纳米多层膜 a-C:Si层 力学性能 摩擦学性能 相对湿度 
MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜结构设计及其宽温域摩擦性能研究被引量：1
《表面技术》2024年第11期80-89,170,共11页高臻荣 候果源 任思明 
国家自然科学基金(52375220)。
目的探究环境温度对MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜摩擦磨损性能的影响,探讨并揭示薄膜在高温环境下的损伤机理。方法采用非平衡磁控溅射技术制备MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜,评价Ti、WC双功能组元以及纳米多层结构设计对薄膜表面形貌和微观...
关键词：磁控溅射 MoS_(2)/Ti-WC纳米多层薄膜 环境适应性 高温润滑性能 摩擦磨损 
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