纳米压印光刻

作品数：48被引量：105H指数：6
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相关作者：张大卫田延岭贾晓辉丁玉成兰红波更多>>
相关机构：天津大学佳能株式会社中国科学院西安交通大学更多>>
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面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻被引量：4
《光学精密工程》2019年第7期1516-1527,共12页兰红波 刘明杨 郭良乐 许权 
国家自然科学基金资助项目(51775288)
为了解决在大尺寸非平整刚性衬底和易碎衬底上高效低成本批量化制造大面积微纳结构这一难题,提出一种面向大面积微结构批量化制造的复合微纳压印光刻工艺。阐述了复合压印光刻的基本原理和工艺流程,通过实验揭示了主要工艺参数(覆模速...
关键词：复合微纳米压印光刻 大面积纳米压印 复合软模具 非平整衬底 大面积微结构 
大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造被引量：9
《光学精密工程》2018年第4期894-905,共12页兰红波 郭良乐 许权 钱垒 
国家自然科学基金资助项目(No.51375250,No.51775288);青岛市创新领军人才资助项目(No.13-CX-18)
为了解决大面积纳米压印所面临的大尺寸晶圆级复合软模具低成本制造的难题,对于当前广泛使用的大尺寸晶圆级双层复合软模具开展了理论分析、数值模拟和制造方法的系统研究。提出并建立了复合软模具脱模过程和气泡缺陷理论模型;利用ABAQU...
关键词：大面积纳米压印 复合软模具 抗粘附 揭开式脱模 晶圆级 
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