多层金属化

作品数:14被引量:12H指数:2
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相关领域:电子电信更多>>
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相关机构:中国电子科技集团公司济南市半导体元件实验所信息产业部电子第五研究所合肥工业大学更多>>
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相关基金:黑龙江省自然科学基金安徽省自然科学基金更多>>
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