多孔硅微腔

作品数：18被引量：22H指数：3
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相关领域：电子电信理学更多>>
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相关期刊：《传感技术学报》《科学技术与工程》《传感器世界》《发光学报》更多>>
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基于自支撑多孔硅微腔的DNA光学检测
《新疆大学学报（自然科学版）（中英文）》2023年第2期196-201,共6页马仲伟 谢洁荣 吕长武 
新疆维吾尔自治区自然科学基金“基于多孔硅光栅光学生物传感器的研究”(2018D01C055)。
用电化学蚀刻在单晶硅表面制备了多孔硅微腔(PSM),并通过大电流脉冲分离制成了一种自支撑多孔硅微腔结构.将该结构用于8个碱基对的DNA片段检测,根据折射率变化引起透射角度谱的移动量检测与探针DNA分子发生偶联反应的目标DNA分子的不同...
关键词：自支撑多孔硅微腔 透射角度谱 DNA传感 
基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测被引量：2
《新疆大学学报（自然科学版）》2016年第3期313-316,共4页陈位荣 贾振红 吕小毅 李鹏 
国家自然科学基金(61265009;11264038);新疆科技厅项目(201412112)
我们结合光刻和电化学腐蚀方法,成功在单晶硅衬底上制备出一个8×8的一维多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件,微阵列的每个阵列单元直径300μm,间距200μm.研究了这种微阵列在633nm激光入射情况下的光学特性.利用我们制备的多孔硅光子晶体...
关键词：多孔硅 微腔 微阵列 
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