开关隔离度

作品数：5被引量：10H指数：2
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介质表面形貌对射频微机械开关隔离度的影响被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》2006年第1期122-125,共4页雷啸锋 刘泽文 宣云 韦嘉 李志坚 刘理天 
国家"九七三"基础研究项目(G1999033105)
针对粗糙介质表面造成射频微机械(RF M EM S)开关隔离度衰减的问题,设计了一个双桥电容式RF M EM S开关,分别采用金属A u和A l作为开关的下电极,以S iN作为电容介质制备了样品。微波特性测量表明两种材料开关的隔离度有很大区别。利用...
关键词：微波开关 微机械 表面粗糙度 隔离度 
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