宣云

作品数:6被引量:17H指数:2
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供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文主题:开关RF_MEMS开关射频微机械共面波导更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊:《清华大学学报(自然科学版)》《光学精密工程》《微细加工技术》《电子器件》更多>>
所获基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
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介质表面形貌对射频微机械开关隔离度的影响被引量:1
《清华大学学报(自然科学版)》2006年第1期122-125,共4页雷啸锋 刘泽文 宣云 韦嘉 李志坚 刘理天 
国家"九七三"基础研究项目(G1999033105)
针对粗糙介质表面造成射频微机械(RF M EM S)开关隔离度衰减的问题,设计了一个双桥电容式RF M EM S开关,分别采用金属A u和A l作为开关的下电极,以S iN作为电容介质制备了样品。微波特性测量表明两种材料开关的隔离度有很大区别。利用...
关键词:微波开关 微机械 表面粗糙度 隔离度 
一种K波段双桥电容式RF MEMS开关的设计与制作被引量:4
《Journal of Semiconductors》2005年第7期1442-1447,共6页雷啸锋 刘泽文 宣云 韦嘉 李志坚 刘理天 
国家重点基础研究发展规划资助项目(批准号:G1999033105)~~
介绍了一种K波段双桥结构的电容式RFMEMS开关.该开关的结构特点是,以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构,并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结构.使用AgilentADS软件对该开关进行了设计和优化,结果表明,相比传统电容式单桥开关,该开关隔离度性能...
关键词:RF MEMS 开关 双桥结构 高隔离度 
斜拉梁结构的RF-MEMS开关制作研究被引量:2
《微细加工技术》2005年第3期48-52,共5页宣云 刘泽文 雷啸锋 李志坚 刘理天 
国家973重点基础研究发展资助项目(G1999033105)
介绍了一种新型斜拉梁结构的电容耦合式开关的制作。该开关的上电极采用斜拉梁支撑结构以提高上电极的平整性和开关整体的可靠性,通过优化开关的结构,将开关的谐振点频率降低到20 GHz附近。制作过程中将平面工艺和垂直喷镀工艺相结合,...
关键词:开关 射频微机电系统 共面波导 
一种X波段RFMEMS开关的设计与制作研究被引量:1
《电子器件》2005年第3期475-478,共4页雷啸锋 刘泽文 宣云 韦嘉 李志坚 刘理天 
国家基础研究发展项目973"集成微光机电系统(IMOEMS)"资助(G1999033105)。
设计并制作了一种X波段的电容式RFMEMS开关。该开关在共面波导上的悬空金属膜桥的支撑梁呈螺旋结构,其等效电感值高达134pH,有效降低了”关”态的谐振频率。结合开关的等效电路模型,使用AgilentADS软件以及理论公式计算对该开关进行了...
关键词:RF MEMS 开关 X波段 高隔离度 
高阻硅上RF-MEMS共面波导设计及测量研究被引量:8
《光学精密工程》2005年第2期158-164,共7页刘泽文 宣云 雷啸锋 李志坚 刘理天 
国家973重点基础研究发展资助项目(No.G1999033105)
设计并实现了基于高阻硅RF MEMS(射频微机电系统)共面波导传输线(CWP), 并测量和分析了不同偏压下的特征阻抗值。利用部分电容法和保角变换法得到的分析公式确定了特征阻抗为50Ω的共面波导的几何结构尺寸,采用MEMS准平面加工工艺在高...
关键词:射频 微机电系统 共面波导 特征阻抗 
高介电常数介质RF MEMS开关的制作研究被引量:3
《测控技术》2004年第3期7-9,共3页雷啸锋 刘泽文 宣云 李志坚 刘理天 
国家 973计划资助项目 (G19990 3 3 10 5 )
介绍了一种电容式MEMS开关的制作工艺。所有的步骤都采用表面微加工工艺完成。其中 ,区别于常规采用的SixNy薄膜 ,笔者采用了高介电常数的Ba0 .5Sr0 .5TiO3 (BST )铁电薄膜作为开关的介电层 ,使“开”“关”状态电容比值大大提高 ,开关...
关键词:射频 微机械 BST 开关 
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