拉制

作品数：271被引量：206H指数：6
导出分析报告
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：曹军陈伟李诗愈周国瑞罗文勇更多>>
相关机构：康宁股份有限公司洛阳金诺机械工程有限公司住友电气工业株式会社宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金教育部科学技术研究重点项目博士科研启动基金国家科技成果重点推广计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 主题=硅x
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
区熔法拉制硅芯的生产工艺及质量控制
《产业创新研究》2024年第14期87-89,共3页刘虎 魏强 杜斌功 
目前,多晶硅的主要生产工艺为改良西门子法,该工艺中硅芯作为硅沉积的载体,其品质对棒状硅的质量有着较大的影响。本文详细阐述了区熔法拉制的硅芯从拉制阶段直至装炉的全部工序,将其分为拉制阶段、机械加工阶段、清洗干燥阶段以及包装...
关键词：圆硅芯 区熔 硅芯质量 工艺 
国产炉拉制Φ78～85mm无位错区熔硅单晶中“毛剌”产生的机理及消除方法被引量：2
《半导体技术》1993年第4期50-53,共4页黄立新 
本文介绍了在国产设备上试制生产Φ>76.2mm无位错区熔硅单晶过程中多次遇到而又必须解决的常见问题之一——“毛刺”问题.着重讨论了“毛刺”产生的宏观机理,并介绍了为有效地防止“毛刺”产生所采取的各种措施.
关键词：单晶炉 单晶控制 毛刺 硅 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部