互连方法

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植入式柔性神经微电极的互连方法
《功能材料与器件学报》2010年第5期471-478,共8页周亮 朱壮晖 张华 周洪波 孙晓娜 李刚 赵建龙 
国家973计划(No.2005CB724305);上海市自然科学基金项目(No.07ZR14134);上海市AM基金项目(No.08520740300);中国科学院上海微系统与信息技术研究所青年创新基金项目(No.2008QNCX02)
为了实现植入式柔性神经微电极与外部记录或刺激装置的有效、可靠连接,本文提出了一种基于通孔电镀的植入式柔性神经微电极互连方法。该方法首先制作具有通孔结构的柔性互连膜,并将其通孔与待连接的植入式微电极焊接位点对准贴合,然后...
关键词:柔性基底 神经微电极 电镀 互连 
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