单片集成技术

作品数：10被引量：6H指数：1
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硅基波导、光探测器和CMOS电路的集成被引量：1
《半导体光电》1997年第3期171-174,共4页郑显明 
对于集成光学器件和微电子电路制作，应用了驻波监控指示技术（ＳＷＡＭＩ）、局部氧化技术（ＬＯＣＯＳ）、光波导和探测器的平接、漏波，以及镜耦合技术。文章介绍了硅基光波导、光探测器和ＣＭＯＳ电路的单片集成技术。
关键词：集成光学 光波导 特性测试 单片集成技术 
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