灰度掩模

作品数：20被引量：42H指数：4
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基于数字微镜的高质量精缩投影光刻系统的研制被引量：6
《激光与红外》2006年第3期206-209,共4页陈劲松 
文章详细介绍了数字微镜系统总体设计,并进行了实验验证。数字微镜如果结合高质量的高倍精缩投影光学系统,完全可实现亚微米级衍射微光学元件的制作。最后对系统特点和系统误差进行了总结。
关键词：数字微镜 灰度掩模 系统设计 系统特点 系统误差 
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