辉光放电质谱

作品数：129被引量：319H指数：13
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辉光放电质谱(GD-MS)法测定高纯砷中16种杂质元素
《中国无机分析化学》2025年第4期576-581,共6页邹琳 栾海光 王凌燕 徐萌琳 
山东省重大科技工程项目(2019TSLH0119)。
高新技术产业发展迅猛,半导体行业热度也越来越高,对于高纯砷的需求量相应不断增加,对于其纯度的要求也越来越高,尤其是在合成化合物半导体材料时。因此,对于高纯砷中杂质元素的检测也成为不容忽视的一部分。通过对制样方法、样品的处...
关键词：辉光放电质谱仪 高纯砷 质谱干扰 相对灵敏度因子 
辉光放电质谱法(GDMS)测定高纯氯化镧中71种痕量杂质元素
《中国无机分析化学》2025年第2期281-288,共8页汤云腾 张其凯 袁晓红 宋立军 
氯化镧纯度对于产品性能至关重要,对其杂质元素的检测需求日益增长。对此,采用辉光放电质谱法(GDMS)测定高纯氯化镧中的痕量杂质元素。鉴于氯化镧粉末极易吸水潮解,将氯化镧粉末充分烘干后放进手套箱中,将高纯氯化镧粉末压在高纯金属铟...
关键词：辉光放电质谱法(GDMS) 杂质元素 高纯氯化镧 高纯铟 
高纯贵金属中杂质元素检测技术新进展被引量：2
《中国无机分析化学》2023年第9期959-966,共8页王楠 周宇 任士远 陈明丽 刘西 
中央高校基本科研业务费资助项目(N2230003)。
高纯贵金属具有良好的抗腐蚀性、稳定的热电性、高温抗氧化性等优异的材料学特性,使得这一类材料在电子信息、生物医药、国防安全等领域有广泛的应用。高纯贵金属纯度是决定其性能和应用领域上限的重要指标,对贵金属生产工艺具有重要指...
关键词：高纯贵金属 电感耦合等离子体发射光谱法 电感耦合等离子体质谱法 辉光放电质谱法 气体元素 
辉光放电质谱法测定高纯材料中痕量硫杂质被引量：6
《中国无机分析化学》2022年第4期126-130,共5页李铭 刘国 江鹏 杨紫君 莽雯倩 高旭升 周文斌 
北京市科技计划资助项目(Z181100009518008)。
准确测定并控制材料中杂质元素含量是发挥高纯材料性能不可或缺的环节。辉光放电质谱法(GDMS)是准确、快速、高灵敏分析高纯材料中痕量及超痕量硫的理想方法。对GDMS分析高纯铜和镍基高温合金中痕量硫的质谱干扰进行了考察,优化了放电...
关键词：辉光放电质谱 高纯材料 硫 相对灵敏度因子 
辉光放电质谱法定量测定重掺晶体硅中替位碳含量被引量：5
《中国无机分析化学》2021年第4期58-62,共5页刘红 李朋飞 刘英 杨复光 刘鹏宇 胡芳菲 赵景鑫 
国家新材料测试评价平台—有色金属材料行业中心项目(TC190H3ZW/2)。
采用辉光放电质谱法测定单晶硅中替位碳含量,通过优化仪器工作条件,得到最佳放电参数。利用低温傅里叶变换红外光谱法对呈梯度的四个单晶硅片中替位碳含量进行赋值,将辉光放电质谱法测得替位碳强度与硅的离子束比与赋值结果作工作曲线,...
关键词：辉光放电质谱法 替位碳 相对灵敏度因子 
辉光放电质谱（GDMS）法校正高纯氧化铋中19种元素的相对灵敏度因子被引量：10
《中国无机分析化学》2019年第6期63-68,共6页谭秀珍 李瑶 陈晶晶 朱刘 邓育宁 
采用标准溶液加入法往高纯氧化铋中加入混合标准溶液,烘干并研磨均匀,制备了5个高纯氧化铋的控制样品。再挑取适量的粉末样品压在高纯铟薄片上,建立了辉光放电质谱(GDMS)法校正高纯氧化铋中的Mg、Al、Ca等19种元素相对灵敏度因子的方法...
关键词：辉光放电质谱仪(GDMS) 高纯氧化铋 控制样品 相对灵敏度因子 
辉光放电质谱法在高纯材料分析中的应用被引量：21
《中国无机分析化学》2019年第2期24-34,共11页王爽 白杉 徐平 王树英 郭雅尘 左文家 张腾月 周渊名 梁雪松 洪梅 
国家自然科学基金(21671010);深圳市孔雀技术创新项目(KQCX2015032709315529)
高纯材料是现代高新技术发展的基础,在电子、光学和光电子等尖端科学领域发挥着重要作用。采用固体样品直接分析的辉光放电质谱法(GDMS),在高纯金属、高纯半导体材料的痕量和超痕量杂质分析中有着非常广泛的应用。综述了GDMS法对高纯金...
关键词：辉光放电质谱法 高纯金属 高纯半导体 应用 
辉光放电质谱仪期间核查控制图在实验室质量控制中的应用被引量：3
《中国无机分析化学》2019年第1期67-70,共4页甘建壮 马媛 李玉萍 杨晓滔 
国家重点研发计划项目(2017YFB0305405)
仪器设备的期间核查是实验室管理及实验室认证认可的一项基本要求,辉光放电质谱仪主要应用于高纯金属材料的分析,标样研制较为困难,使用高纯标准物质进行质量控制及期间核查的方法难以实现。对用液氮低温冷却离子源型的辉光放电质谱仪,...
关键词：辉光放电质谱仪 期间核查 质量控制 
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