基板技术

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高纯锗探测器低本底硅前端电路基板设计
《核电子学与探测技术》2020年第5期685-689,共5页宋天骁 蔡坚 何力 邓智 王谦 
国家重点研发计划(2017 YFA0402202)资助。
设计并完成了用于高纯锗探测器的硅基低本底前端电路基板。结合装配需求、基板特征阻抗和工艺可行性完成了尺寸为15 mmX15 mm,包含14个通孔结构的硅基板设计。利用光敏性苯并环丁烯在硅基板上进行焊盘开窗,同时作为金属布线保护性介质...
关键词：高纯锗探测器 基板技术 硅基板 苯并环丁烯 
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