机床系统

作品数:45被引量:20H指数:3
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相关领域:金属学及工艺更多>>
相关作者:李长河尹飞鸿卢秉恒蒋丽伟刘家奇更多>>
相关机构:发那科株式会社大隈株式会社赫克公司西安交通大学更多>>
相关期刊:《金属加工(冷加工)》《机床与液压》《今日制造与升级》《木工机床》更多>>
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激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析被引量:2
《光学学报》2016年第10期147-154,共8页郑立功 郝腾 国成立 王若秋 张志宇 
国家自然科学基金(51305422);国家973计划(2011CB013200)
计算全息图(CGH)在非球面、自由曲面等光学元件的高精度检测中发挥着重要作用。激光直写机床导轨的正交性误差会影响CGH图案的绘制精度,进而在面形检测结果中引入像散误差。为定量研究激光直写机床导轨正交误差对CGH检测结果的影响,利...
关键词:测量 计算全息图 激光直写 标量衍射理论 对准区域 正交性误差 
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