激光干涉光刻

作品数:18被引量:50H指数:5
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相关领域:电子电信更多>>
相关作者:王作斌翁占坤宋正勋冯伯儒张锦更多>>
相关机构:长春理工大学中国科学院四川大学苏州大学更多>>
相关期刊:《中国科技论文》《长春理工大学学报(自然科学版)》《上海理工大学学报》《中国激光》更多>>
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激光干涉诱导向前转移制备银微点及SERS特性研究
《中国激光》2024年第16期296-304,共9页申惠娟 翁占坤 李昌立 邓锂强 韩太坤 
国家自然科学基金面上项目(62175019);广东省科技计划项目(X220961UZ230);茂名市科技计划项目(2023012);广东石油化工学院校级科研项目(博士启动类)(2023bsqd2009)。
表面增强拉曼散射(SERS)技术在痕量检测等领域中具有重要的作用,制备周期性微纳结构,构建表面等离子体耦合体系,是当前实现高性能SERS基底的主要方法之一。鉴于传统周期性微纳制备技术成本高、效率低等不足,提出了激光干涉诱导向前转移(...
关键词:激光技术 激光干涉光刻 激光诱导向前转移 Ag微点结构 表面增强拉曼散射特性 
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