激光直写技术

作品数：43被引量：101H指数：5
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激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究
《高技术通讯》2011年第2期210-214,共5页陈海峰 曹宇 李祥友 蔡志祥 王小宝 王少飞 李金洪 曾晓雁 陈弘达 
863计划（2007AA030114,2007AA04Z254,2007AA04Z329）资助项目.
利用激光微细熔覆电子浆料（LMCEP）技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列（MEA）——目前研究细胞电生理的常用工具之一，在电极阵列背面利用微笔直写技术直接“写”上加温和热敏电阻，完成了微电极阵列、电热器件和热敏器件...
关键词：微电极阵列(MEA) 激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术 微笔直写技术 
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