激光制版

作品数：51被引量：17H指数：3
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PCB激光制版曝光误差分析及校正被引量：2
《电子技术与软件工程》2018年第5期77-77,共1页刘清源 王英志 胡俊 
吉林省科技发展计划项目(20150204015GX)
本文所研究的PCB激光制版系统采用了基于空间光调制器的数字光刻技术,文中首先阐述了数字光刻技术的原理,给出曝光强度函数并建立与扫描距离之间的数学模型。之后针对实际曝光过程中存在的曝光误差给出公式,并带入该数学模型中进行分析...
关键词：PCB激光制版 数字光刻 曝光误差 
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