集成电路工艺

作品数：155被引量：180H指数：7
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超低功耗集成电路技术被引量：15
《中国科学：信息科学》2012年第12期1544-1558,共15页张兴 杜刚 王源 刘晓彦 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2011CBA00600)资助项目
集成电路技术遵循摩尔定律发展进入了纳米尺度,功耗带来的挑战日益突出,已经成为制约集成电路发展的瓶颈问题.微电子技术的发展已经进入了"功耗限制"的时代,功耗成为集成电路设计和制备中的核心问题.降低功耗有可能替代原来提高集成度...
关键词：微电子器件 集成电路设计 集成电路工艺 功耗分析 低功耗 
微型光机电系统及其制作被引量：1
《电子工业专用设备》2000年第3期1-7,12,共8页白立芬 李庆祥 薛实福 于水 
国家重点基础研究项目(G199903-07)
微型光机电系统 (MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域 ,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展。阐述了实现MOEMS的 2种技术手段 :光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关...
关键词：微型光机电系统 制作 集成电路工艺 
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