集束型装备

作品数：19被引量：19H指数：2
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
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相关期刊：《半导体技术》《控制与决策》《信息与控制》《计算机集成制造系统》更多>>
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引入周期性维护的基束型装备SPN模型及仿真
《计算机仿真》2010年第11期354-358,共5页郑秀红 于海斌 胡静涛 
在研究半导体的过程中,为了提高装备的优化性能,采用随机Petri网构造集束型装备模型,描述了装备的串行加工过程,引入了加工腔体的故障、修复、周期性维护的特性。通过仿真实验,分析实验数据,得出故障率、维护周期、维护时间与装备的晶...
关键词：集束型装备 故障 周期性维护 模型 仿真 
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