集束型装备

作品数：19被引量：19H指数：2
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：李林瑛胡静涛郑秀红卢睿臧洁更多>>
相关机构：大连外国语大学中国科学院辽宁警察学院中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《半导体技术》《控制与决策》《信息与控制》《计算机集成制造系统》更多>>
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集束型装备生产线离散事件仿真方法研究被引量：1
《集成电路应用》2019年第6期74-75,共2页许壮源 范文慧 林廷宇 肖荧荧 
复杂产品智能制造系统技术国家重点实验室开放研究基金课题(QYYE1601)
集束型装备是集成电路的生产线上的标准装备,集束型装备一般是3部分来组成:加工晶圆的加工模块、晶圆机械手、输入/输出晶圆的晶圆承载室。集束型装备计算机仿真方法是预测装备产能和辅助装备设计的有效方法之一。利用商用Anylogic软件...
关键词：集束型装备 离散事件 仿真 ANYLOGIC 
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