键合点

作品数:22被引量:28H指数:4
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用图像识别的方法检测集成电路的键合点被引量:1
《自动化学报》1999年第4期567-570,共4页卢朝阳 周幸妮 顾英 
国家自然科学基金;ISN国家重点实验室开放课题
1引言(a)例1(b)例2图1键合区与键合点在大规模集成电路(VLSI)的制造工艺中,键合区及键合点的检验是保证可靠性的一个重要环节,因为每一个键合点的好坏,直接影响整体集成电路(IC)芯片的可靠性.图1是两例放大了...
关键词:键合点 集成电路 VLSI 制造工艺 图像识别 
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