光波导薄膜

作品数:22被引量:62H指数:6
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PSTM 用于Al_2O_3光波导薄膜的研究被引量:1
《光电子.激光》2001年第4期351-353,共3页潘石 王继松 吴世法 简国树 
国家自然科学基金!资助项目 (3 9670 2 0 8)
利用光子扫描隧道显微镜 (PSTM)检测研究 Al2 O3光波导薄膜及其制备工艺。分析了不同温度条件下采用离子束增强沉积工艺制备的 Al2 O3光波导薄膜 PSTM图像。结果表明 :适当的增加基片的温度可以减小散射损耗 ,改善 Al2
关键词:光子扫描隧道显微镜 光波导薄膜 氧化铝 
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