光波导薄膜

作品数:22被引量:62H指数:6
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溶胶-凝胶法在平面光波导薄膜制备中的应用被引量:1
《压电与声光》2008年第5期594-597,共4页王宝玲 胡丽丽 张丽艳 
浙江省教育厅一般基金资助项目(20060533)
溶胶-凝胶技术作为一种湿化学法具有工艺温度低、化学均匀性好、易实现材料的掺杂等独特的优点,平面光波导薄膜是制备其他各种波导和集成光学器件的基础。近年来,采用溶胶-凝胶技术制备平面光波导薄膜已成为研究热点。该文综述了溶胶-...
关键词:溶胶-凝胶 光波导薄膜 有机硅酸盐 非水解 
溶胶-凝胶法在平面光波导薄膜中的应用被引量:5
《压电与声光》1996年第4期264-269,共6页翟继卫 张良莹 姚熹 
溶胶-凝胶工艺在薄膜制备方面有其独特的优越性,如工艺过程温度低、成分均匀、纯度高、成膜面积大等。近年来已在薄膜制备方面得到广泛应用。本文简要地综述了溶胶-凝胶工艺在制备平面光波导薄膜中的应用。
关键词:溶胶-凝胶 光波导 薄膜 激光写入图形 
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