光层

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LCoS平板微显示驱动技术研究
《半导体光电》2009年第1期38-42,共5页王文博 王晓慧 黄苒 欧毅 杜寰 夏洋 韩郑生 冯亚云 凌志华 
国家“973”计划资助项目(2003CB314705)
研究了硅基液晶(LCoS)微显示驱动电路的制备工艺、电路设计、版图绘制以及显示功能测试。采用化学机械抛光(CMP)工艺实现硅片表面平坦化方案,满足了LCoS微显示对表面平整度的要求;合理布设两层金属布线,巧妙实现遮光作用;利用剥离的方...
关键词:硅基液晶 平板微显示 镜面电极 遮光层 
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