镜面电极

作品数：2被引量：2H指数：1
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LCoS平板微显示驱动技术研究
《半导体光电》2009年第1期38-42,共5页王文博 王晓慧 黄苒 欧毅 杜寰 夏洋 韩郑生 冯亚云 凌志华 
国家“973”计划资助项目(2003CB314705)
研究了硅基液晶(LCoS)微显示驱动电路的制备工艺、电路设计、版图绘制以及显示功能测试。采用化学机械抛光(CMP)工艺实现硅片表面平坦化方案,满足了LCoS微显示对表面平整度的要求;合理布设两层金属布线,巧妙实现遮光作用;利用剥离的方...
关键词：硅基液晶 平板微显示 镜面电极 遮光层 
LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进被引量：2
《液晶与显示》2008年第5期629-632,共4页王文博 王晓慧 黄苒 欧毅 杜寰 夏洋 韩郑生 冯亚云 凌志华 
国家“973”重点基础研究发展计划资助项目(No.2003CB314705)
介绍了LCoS技术的特点与发展现状,LCoS性能的优劣与硅基片平整度有直接关系,着重进行了LCoS微显示驱动技术表面形貌的研究与改进。通过严格控制工艺步骤,降低台阶高度;合理设计版图布局,使台阶叠加在隔离像素区域的沟槽中,这样既能实现...
关键词：LCOS 微显示 CMP 镜面电极 
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