光集成器件

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光集成器件和MOEMS中硅基衍射器件的研究
《大学物理实验》2004年第3期34-37,共4页陈殿伟 才殿文 杨海英 
介绍了光集成器件和MOEMS中硅材料和衍射光学元件的应用 ,在此基础上分析了硅基衍射光学元件在光集成器件和MOEMS中的重要地位 ;描述了几种常见形态的硅基衍射光学元件 ,简单分析了难于获得垂直于硅基底的衍射光学元件的原因。
关键词：光集成器件 集成光学 光电集成 微光机电系统 衍射光学元件 
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