云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 光学共振

光学共振: 作品数：13被引量：14H指数：2; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>; 相关作者：邓文娟彭新村邹继军朱志甫刘云更多>>; 相关机构：东华理工大学哈尔滨工业大学苏州大学暨南大学更多>>; 相关期刊：《光学学报》《光子学报》《中国激光》《物理学报》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金江西省自然科学基金江苏省高校自然科学研究项目更多>>

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基于纳米压印技术的GaAs纳米柱阵列ICP刻蚀工艺及其光学特性研究被引量：1: 《电子测试》2022年第10期39-41,56,共4页刘双飞肖家军张蓓彭新村邹继军邓文娟; 国家自然科学基金(62061001,61204071,61961001);江西省自然科学基金(20202BAB202013)资助项目。; 近年来,半导体纳米阵列结构材料因能激发光学共振及其优良的光电性能在光电子器件领域被广泛的应用。本文采用纳米压印技术制备具有一定直径和周期的SiO_(2)纳米柱作为掩膜层,采用ICP刻蚀制备了GaAs纳米柱阵列,重点研究了不同刻蚀条件...; 关键词：纳米压印 GaAs纳米柱阵列光学共振