光阴极注入器

作品数：30被引量：34H指数：2
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用于极紫外光刻的高功率能量回收型自由电子激光光源
《中国激光》2024年第7期105-113,共9页周奎 李鹏 吴岱 黎明 
国家自然科学基金(62205319);中物院创新发展基金创新项目(CX20210046)。
未来极紫外光刻技术的发展亟需更高功率的光刻光源,能量回收型自由电子激光光源可以实现千瓦量级以上的功率输出,是一种极具潜力的高功率极紫外光刻光源。主要介绍了高功率能量回收型自由电子激光光源的工作原理、发展现状以及所面临的...
关键词：激光光学 极紫外光刻 能量回收型直线加速器 自由电子激光 光阴极注入器 超导加速器 
深度高斯过程辅助的光阴极注入器优化设计
《强激光与粒子束》2023年第12期74-81,共8页孙正 辛天牧 
环形正负电子对撞机(CEPC)对注入器出口处的束团的电荷量、横向发射度、纵向长度等指标提出了严格的要求,设计开发高性能的电子枪及注入器成为了重要挑战。为了得到满足指标的束流,必须同时考虑众多非线性且相互耦合的变量。基于光阴极...
关键词：微波电子枪 深度高斯过程 多目标优化 替代模型 高维参数优化 
成像法在电磁叠加型光阴极注入器中的应用
《强激光与粒子束》2022年第10期150-155,共6页范培亮 王科 何小中 杨柳 魏涛 江孝国 杨治勇 杨兴林 
国家自然科学基金项目(11805191,12035012,11875242)。
光阴极注入器为X射线自由电子激光提供高品质电子束团,其中,阴极面上电子发射的均匀性在很大程度上影响着电子束团的束流品质,实验中常通过测量光阴极量子效率分布来评估电子发射的均匀性。成像法测量光阴极量子效率分布时具有实时、高...
关键词：量子效率 成像法 叠加场 注入器 
1.3GHz 20kW固态微波功率源的测试和运行（英文）
《强激光与粒子束》2016年第12期122-127,共6页王芳 林林 冯立文 高永凤 庄德浩 全胜文 张保澄 郝建奎 张建华 袁震宇 刘克新 
supported by National Basic Research Project(2011CB808302)
北京大学3.5-cell直流超导(DC-SRF)光阴极注入器需要一台连续波功率20kW的1.3GHz微波功率源。为此北京大学和北京北广科技股份有限公司联合研制了一台由88个放大模块组成的固态微波功率放大器,这是国内首台L波段连续波大功率固态功率源...
关键词：直流超导光阴极注入器 固态放大器 高度模块化 全反射 
GaAs光阴极量子效率分布测量被引量：3
《强激光与粒子束》2015年第5期272-276,共5页杨仁俊 肖德鑫 李凯 吴岱 潘清 王建新 杨兴繁 
国家自然科学基金项目(11475159;11305165);中国工程物理研究院发展基金项目(2013B0401073;2014B0402069;2014B0402070)
基于负电子亲和势GaAs光阴极直流高压注入器,设计并搭建了国内首套光阴极量子效率分布测量系统。该系统利用单透镜实现逐点扫描,并采用LabVIEW进行控制和数据读写。实验表明,该系统单点采样时间小于2.3s,分辨率优于0.32mm。初步测量了G...
关键词：砷化镓光阴极 量子效率 光阴极注入器 阴极寿命 
光阴极注入器补偿线圈用脉冲电流的研究
《中国科学技术大学学报》2014年第9期751-753,775,共4页曹小雪 贾启卡 
国家重点基础研究发展(973)计划(2011CB808301);国家自然科学基金(10975137)资助
发射度补偿线圈是光阴极注入器中获得低发射度高品质束流的重要设备.由于通过的直流电流功率较大会致使线圈温度过高,必须使用水冷系统对其进行冷却,因此导致装置体积过大.考虑到电子枪产生的电子束团脉冲宽度一般为ps量级,重复频率为10...
关键词：螺线管线圈 温升 脉冲 发射度补偿 
基因算法在光阴极注入器优化设计中的应用被引量：1
《强激光与粒子束》2014年第2期289-293,共5页张猛 廖浪 
中国科学院知识创新工程"新锐计划"项目
基于正在建设的大连自由电子激光装置,研究了基因算法在注入器优化设计中的系统应用。与传统的注入器优化方法相比较,基因算法在多变量、多目标注入器优化问题中具有优化效率高、优化结果精确的优势;通过采用权重因子的方法将多目标问...
关键词：基因算法 光阴极 注入器 
直流光阴极注入器电子束壁损失初步研究被引量：1
《强激光与粒子束》2014年第1期265-269,共5页吴岱 肖德鑫 李凯 刘宇 李鹏 王汉斌 杨兴繁 黎明 
中国工程物理研究院发展基金项目(2011B0402070);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ130018);国家自然科学基金项目(11305165)
真空度被认为是影响GaAs阴极寿命的最重要参数之一,电子束在阴极附近的壁损失会导致真空度下降。基于高斯分布模型,研究了中国工程物理研究院自由电子激光相干强太赫兹源(FEL-THz)直流光阴极注入器电子束在束线管壁上的损失情况。通过...
关键词：自由电子激光相干强太赫兹源 高斯分布 电子束壁损失 GaAs阴极 量子效率 
高平均功率太赫兹自由电子激光装置设计被引量：13
《太赫兹科学与电子信息学报》2013年第1期1-6,共6页许州 杨兴繁 黎明 束小建 鲁向阳 黄文会 窦玉焕 王汉斌 柏伟 沈旭明 徐勇 邓德荣 单李军 张德敏 陈亚男 
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2011YQ130018)
为满足材料和生物医学等研究需要，中国工程物理研究院（中物院）提出了高平均功率太赫兹自由电子激光（THzFEL）用户装置研制项目。该装置采用准连续波运行的工作模式，太赫兹平均功率约为10W。通过调节电子束能量和摇摆器的磁场强度...
关键词：太赫兹 自由电子激光 光阴极注入器 超导加速器 
高压直流连续波光阴极注入器中发射度补偿被引量：3
《强激光与粒子束》2011年第12期3380-3384,共5页李鹏 吴岱 许州 黎明 杨兴繁 
空间电荷效应是引起发射度增长的主要因素,特别是在高压直流连续波光阴极注入器中。分析了高压直流连续波光阴极注入器中线性空间电荷力的特点及其对电子束横向发射度的影响,并从理论上解析地研究了螺线管发射度补偿的原理及特点。最后...
关键词：光阴极注入器 螺线管 空间电荷效应 发射度补偿 
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