硅基液晶显示器

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相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司南开大学东南大学中国航天北京微电子技术研究所更多>>
相关期刊：《光电子技术》《液晶与显示》《现代显示》《半导体光电》更多>>
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硅基液晶显示器中像素电极平整度研究
《中国集成电路》2002年第11期61-64,共4页代永平 王隆望 
硅基液晶(LCoS)显示器是一类把LCD制作在单晶硅片上的新型的反射式平板显示器,硅片上集成了驱动电路和显示驱动矩阵,其中镜面反射电极的平整性决定了整个显示器的亮度和对比度等主要显示参数。本文详细探讨了运用常规VLSI技术实现LCoS...
关键词：平坦化技术 平整度 驱动电路 化学机械抛光 硅基液晶显示器 像素 电极 反射率 对比度 反射式 
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